瑞士VAT閥優(yōu)勢(shì)供貨-全國(guó)

一瑞士VAT公司介紹

VAT集團(tuán)于1965年創(chuàng)立，總部位于瑞士,全球約1200名雇員。VAT是國(guó)際的真空閥，多閥模塊，邊焊接波紋管的制造商，VAT

基于不斷的創(chuàng)新和對(duì)質(zhì)量和可靠性的專一專注， 在真空閥領(lǐng)域確立了全球地位。VAT可以提供1000多種標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品，為客戶提供

廣泛的業(yè)務(wù)范圍。VAT根據(jù)原則生產(chǎn)真空閥，已通過ISO 9001和ISO 14001認(rèn)證，提供最高質(zhì)量的產(chǎn)品。

二、瑞士VAT部分產(chǎn)品介紹

1.VAT閘閥

具有模塊化執(zhí)行機(jī)構(gòu)概念的VAT緊凌型迷你超高壓閘閥非常適合工業(yè)和研發(fā)應(yīng)用。它通常用于半導(dǎo)體工藝系統(tǒng)的管道中。插入版本

以集成到真空系統(tǒng)中(無閥體)，更高的密封材料(Chemraz, EPDM等)，帶有VITON制成的密封件，可更換，特殊的閥門澆口，適

合安裝各種孔板。

2.VAT蝶閥

VAT蝶閥是下游應(yīng)用的蝶形壓力控制閥。帶有非?？焖偾覉?jiān)固的執(zhí)行器，高性能，集成控制器，具備極短的控制響應(yīng)時(shí)間和位置指

示，自動(dòng)維護(hù)指示，出色的抗污染能力。該閥門]的控制器可確保非?？焖俸蜏?zhǔn)確的壓力控制。通過操作LEARN功能， 在啟動(dòng)時(shí)只

需要執(zhí)行一次，即可自動(dòng)確定系統(tǒng)參數(shù)。由于采用了自適應(yīng)算法，因此控制器可以連續(xù)適應(yīng)過程條件(氣體種類，氣體流量), 從而

確保隨時(shí)進(jìn)行最佳壓力控制。

3.VAT轉(zhuǎn)換閥

VAT轉(zhuǎn)換閥用于200.300和450毫米晶園的半導(dǎo)體生產(chǎn)系統(tǒng)中的負(fù)載鎖定和處理室隔離。雙作用氣動(dòng)執(zhí)行器，主體材質(zhì)為鋁，不銹

鋼，波紋管受保護(hù)，使用壽命長(zhǎng)，大于500萬次循環(huán)的預(yù)期壽命，公稱內(nèi)徑32x222到56x496毫米。

4.VAT角閥

VAT角閥適用于大多數(shù)腐蝕性氣體，除氣率極低。當(dāng)排氣速率極低時(shí),對(duì)于特高壓系統(tǒng)的泵送和排氣很重要。耐高壓差，固定式可

旋轉(zhuǎn)CF法蘭，在最高溫度80°C下可以進(jìn)行300萬次循環(huán)，主體材質(zhì)不銹鋼，執(zhí)行器類型分為手動(dòng)執(zhí)行器(手輪)，氣動(dòng)執(zhí)行器(單閉

孔，帶有閉合彈簧NC)。

5.VAT軟啟動(dòng)閥

VAT軟啟動(dòng)閥由兩半節(jié)流閥瓣組成，它們支撐在一條公共軸上。 并通過彈簧保持在打開位置。軸保持在ISO-KF對(duì)中環(huán)中， 該對(duì)中環(huán)

形成為帶有閥座的主體。將它們安裝在兩個(gè)ISO-KF法蘭(而不是定心環(huán)之間時(shí)，必須將打開的閥瓣對(duì)準(zhǔn)真空管路中的氣流。當(dāng)粗加

工系統(tǒng)投入運(yùn)行時(shí)，在粗加工管線中會(huì)產(chǎn)生強(qiáng)氣流，該氣流會(huì)立即關(guān)閉閥門，并使管段減少約99%。當(dāng)達(dá)到約2%的壓差時(shí)，在

15mbar時(shí)，閥門打開并地離開管道，以進(jìn)行進(jìn)一步泵送。

瑞士VAT閥優(yōu)勢(shì)供貨-全國(guó)

瑞士VAT閥門主要系列：
010系列、012系列、081系列、091系列、108系列、110系列、121系列、140系列、150系列、152系列、162系列、168系列、640系列、641系列、650系列、652系列、022系列、032系列、043系列、075系列、076系列、066系列、211系列、214系列、216系列、245系列、264系列、471系列、773系列、790系列、790

VAT蝶閥控制系統(tǒng)
蝶閥壓力控制閥的下游應(yīng)用。非?？焖俸蛷?qiáng)大的執(zhí)行機(jī)構(gòu)。高性能，集成控制器。極短的控制響應(yīng)時(shí)間和位置指示。自動(dòng)保養(yǎng)。優(yōu)異的耐污染的過程。
VAT蝶型控制閥 612系列
- 下游應(yīng)用
- 非常快速和強(qiáng)大的執(zhí)行機(jī)構(gòu)
- 高性能的集成控制器
- 極短的控制響應(yīng)時(shí)間和位置指示功能
- 自動(dòng)維護(hù)指示
- 優(yōu)良的耐污染過程。
VAT角閥或隔膜閥 245系列
- 特別適用于真空排氣系統(tǒng)的應(yīng)用
- 能夠輕松承受大容量排氣產(chǎn)生的振動(dòng)。
- 尺寸：DN10 - 50 DN80
- 可聯(lián)手動(dòng)致動(dòng)器，氣動(dòng)執(zhí)行器
- 銅或不銹鋼
VAT 615 - 蝶閥與密封功能
下游壓力控制和隔離閥設(shè)計(jì)緊湊，運(yùn)行速度快高性能。
VAT 640 - 控制閘閥
這些控制閘閥，帶3位氣動(dòng)執(zhí)行器，電機(jī)控制和隔離。
VAT 642 - 控制閘閥
電機(jī)控制和隔離。壓力控制器PM4 / 5和閥是一個(gè)壓力控制系統(tǒng)。
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